Şanghay’da devlet destekli bir şirket, immersion derin ultraviyole (DUV) litografi makineleri üretmeye başladı. Bu yıl beş, 2027’ye kadar yaklaşık yirmi sistem teslim edilmesi planlanıyor. İlk makineler SMIC, Hua Hong ve ChangXin Memory Technologies fabrikalarında kullanılacak.

Analistler, bu makinelerin yüksek hacimli çip üretimini 24 saat kesintisiz sürdürebilmesinin ticari başarının anahtarı olduğunu vurguluyor. Paul Triolo, immersion DUV litografinin yıl boyunca sorunsuz çalıştırılmasının çok zor olduğunu belirtiyor. Bank of America, Çin’in Anhui bölgesine Mart 2024’te 226 milyon dolar değerinde yarı iletken ekipman ithal ettiğini, bunların %57’sinin litografi sistemleri olduğunu raporladı.

ABD’nin önerdiği MATCH Yasası, stratejik rakip ülkelerde immersion DUV sistemlerinin satışı ve servisini sıkılaştırmayı hedefliyor; henüz yasalaşmadı. Yasa yürürlüğe girerse, ASML mühendislerinin Çin’deki projelerden çekilmesi yerli ekipman geliştirmeye ivme kazandırabilir. Çin hâlâ en gelişmiş EUV litografi sistemlerine erişemediği için, immersion DUV en ileri teknoloji konumunda.