Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology está ampliando su instalación en Oberkochen, en el sur de Alemania, con 25.000 metros cuadrados de nuevo espacio de producción. El primer edificio, cuya primera piedra se colocó en 2022, se inauguró este mes, cuatro años después de la ceremonia. Oberkochen y Wetzlar son los únicos lugares de producción de columnas ópticas para los escáneres de litografía de ASML. El informe anual de ASML indica que la capacidad de producción está limitada por la velocidad de producción de Zeiss SMT.
En su informe anual de 2025, ASML define a Zeiss SMT como su único proveedor de lentes, espejos, iluminadores y otros componentes ópticos críticos. Se advierte que si Zeiss SMT no puede mantener su producción a largo plazo, ASML no podrá continuar con sus operaciones. En 2025, las compras a Zeiss SMT ascendieron a 4.410 millones de euros, superando los 3.950 millones de euros de 2024 y los 3.330 millones de euros de 2023.
El CFO de ASML, Roger Dassen, indicó que para 2027 los sistemas Low-NA EUV están casi completamente reservados y que planean aumentar la capacidad en un 30% con respecto a los aproximadamente 65 sistemas de este año. Además, se está evaluando otro aumento del 30% para 2028. Dassen explicó que su objetivo es reducir el ciclo de producción de escáneres de 22 semanas a 15-16 semanas. ASML planea aumentar los precios de las máquinas Low-NA EUV, lo que parece haber molestado a TSMC.
Las ópticas de proyección High-NA están compuestas por más de 40.000 piezas y pesan aproximadamente 12 toneladas. Son siete veces más grandes y pesadas que las ópticas EUV estándar. Un solo espejo High-NA pesa varios cientos de kilogramos y es el doble de grande y diez veces más pesado que los espejos EUV actuales. Zeiss señala que estos espejos requieren una cámara de vacío especial para su ajuste. Esta cámara mide 5x10 metros, está compuesta por más de 100.000 piezas y pesa más de 150 toneladas.
Hasta finales de 2025, ASML había obtenido 1.910 millones de euros en créditos de Zeiss SMT, superando los 1.440 millones de euros de finales de 2024. Además, realizó un prepago de 1.190 millones de euros para garantizar las entregas de columnas ópticas. Hay dos facilidades de crédito de 1.000 millones de euros cada una, firmadas en 2021 y 2024. ASML proporcionó 444 millones de euros en julio de 2025 y 212,5 millones de euros en noviembre de 2025 en créditos a corto plazo. Tras la renegociación del acuerdo marco en mayo de 2025, estos créditos se hicieron sin intereses y el pago se realiza en 7 o 15 años.
Zeiss SMT registró ingresos de 5.055 millones de euros hasta finales del año fiscal 2025, siendo el segmento más grande de los cuatro del Grupo Zeiss. Además, está construyendo una fábrica multifuncional en Wetzlar, añadió 300 metros cuadrados de sala limpia en Rossdorf el año pasado y abrió un centro de innovación en Corea este mes.