Rus tabanlı Zelenograd Nanoteknoloji Merkezi (ZNTC), 200 mm wafer işleyebilen ve 130nm süreç teknolojisi kullanan ilk yerli litografi aletinin üçüncü Ar-Ge aşamasını tamamladı.
Alet şu anda dahili testlerden geçiyor ve gerçek bir fabrika ortamında seri çip üretimi için yıllar uzakta.
Projeye Belarus tabanlı Planar ve lazer kaynağı geliştiren Lassard da katkıda bulundu; Rusya Sanayi ve Ticaret Bakanlığı program için yaklaşık 70 milyon dolar ayırdı.