Penn State araştırmacıları, lazer ışınlarını hem yatayda tarayabilen hem de odak derinliğini mikrosaniye hızında değiştirebilen tek bir MEMS mikrosayası geliştirdi. Çalışma Microsystems & Nanoengineering dergisinde yayımlandı ve cihazın boyutu yaklaşık bir milimetre — bir kuruş kalınlığında. Bu tek cihazla 3D ışık kontrolü sağlanarak optik sistemlerin boyutu ve ağırlığı önemli ölçüde küçültülebiliyor.
Penn State'ten 3D ışık kontrolü yapan milimetre boyutunda MEMS aynası
Penn State araştırmacıları, lazer ışınlarını yatayda tarayabilen ve odak derinliğini mikrosaniyelerde değiştirebilen tek bir MEMS mikrosayası geliştirdi.
01MEMSmikroskopnörobilimartırılmış gerçekliklazeroptikPenn Statealuminyum nitrür