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ASML y Zeiss investigan Hyper-NA, el siguiente paso tras High-NA EUV

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ASML y Zeiss han comenzado a desarrollar la tecnología Hyper-NA de próxima generación mientras los actuales sistemas High-NA EUV llegan a las fábricas; el objetivo es una apertura numérica de 0,75 y su uso comercial se prevé en unos diez años.